结合之前提到的“新型设计理念”和对镥铝石榴石特性的关注,一个模糊但激动人心的轮廓在吴明翰脑海中逐渐浮现——
常院士手中,很可能掌握着一种能够解决高NA值问题的颠覆性技术!
想到这里,他用肉眼难辨的速度掏出了早就准备好的纸笔:
“您说”
常浩南看着眼前这副早有准备样子也是一愣,然后开始列出需求:
“首先,我们需要明确目标NA值下对应的、实际光刻工艺所要求的光学设计规格。包括但不限于:有效成像视场的大小、允许的最大波像差、畸变容限、还有系统的工作距离等硬性指标。”
“其次是透镜组的整体结构布局……”
“……”
洋洋洒洒,十几分钟才终于说完。
吴明翰从头到尾浏览了一下。
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