尤其是在他听对方说起像差和色差的时候——
无论“突破衍射极限”的猜想是否能够成行,负折射率材料天生的负色散特性总归是确定存在的。
单凭其在色差补偿方面的颠覆性能力,也足以成为解决超高NA物镜组设计痛点的关键。
他心中迅速盘算起来:
如果能把现有DUV光刻机的NA值从1.35大幅提升到1.70以上,相当于把等效分辨率波长从142.2nm压缩到112.9nm。
这将极大扩展现有DUV设备的实用能力边界,可能直接解决40nm乃至28nm的图形化问题,显著减轻对多重曝光技术的依赖,从而绕开良率和成本的泥潭!
片刻的思索后,常浩南心中已有了初步的盘算。
他依旧没有直接点破负折射率材料的存在,但决定再向前推进一步。
“实不相瞒,火炬实验室目前正在探索一种新型的光学系统设计理念,其中涉及一些……非传统的路径。”他措辞谨慎,“为了更好地评估这种新理念的潜力,我们迫切需要一些关键的设计输入参数。”
吴明翰心说终于来了。
对方提出的要求极其具体且专业,目标明确指向了物镜系统。
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