“NA值,简单说,决定了光学系统收集和汇聚光线的能力,这个项越高,理论上能达到的分辨率极限就越小。”
激光笔的光点停留在象征物镜的透镜组位置:
“具体来说,NA等于底镜、浸没液和光刻胶三者折射率(n)的乘积,再乘以孔径角半角的正弦值,当然光刻胶和孔径角的设计自由度有限,所以主要是另外两项的材料。”
“我们目前使用的NXT:1950i,是氟化钙底镜,配合2G系列的浸没液,NA最高能达到1.35左右,更先进的NXT:2000i,底镜是性能更好的氟化锂钡,浸没液也是优化的3G系列,能把NA推高到1.45左右。”
吴明翰放下激光笔,看向常浩南:
“不过,这基本就是传统技术路线的极限了。”
常浩南一直专注地听着,此刻微微皱起了眉:“浸没液这块我不熟悉,不过……底镜为什么不能用折射率更高的材料?”
紧接着又补充了一个更详细的数字:“我记得……镥铝石榴石的折射率能接近1.9?”
这是之前做实验过程中用过的。
这个问题一出口,会议室内包括周学、黄炜在内的所有人,几乎同时精神一振。
倒不是说问题本身有多精深。
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