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第1607章 多重曝光 (5 / 6)

作者:十月廿二 最后更新:2025/8/28 5:44:36
        话语里听不出太多抱怨,只有一种面对客观规律的无奈。

        常浩南的目光缓缓扫过这片触目惊心的“报废陈列区”,在这些承载着高昂代价和失败印记的晶圆上停留了几秒。

        就在他移开目光的瞬间,视线落在了陈列台旁边墙上一个不起眼的展示框内。

        框里并非照片或奖状,而是一张略显陈旧、线条密集的工程结构图。

        或者更严格来说是一系列结构图。

        看上去已经有些年头了,以至于上面标注的各种光学参数和镜片结构都有些模糊。

        “这个……是物镜组的设计图?”常浩南走近几步,指着那张图,“你们还做过光刻设备的研发?”

        旁边几个人都微微一怔,没想到常浩南会注意到这个角落。

        “常院士好眼力。”吴明翰走上前解释道:“不过这是……好些年前的事了。”

        他来到那张图面前站定,上下打量了一番:

        “世纪初那会儿,国内连紫外光刻机都几乎是空白,我们确实组建过一个研发团队,尝试自研核心部件,尤其是物镜系统……这张图上面列出来的,就是陆续设计出来的一系列成果。”

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