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第1161章 他改变了测量学 (3 / 8)

作者:十月廿二 最后更新:2025/7/2 22:55:25
        目前他正在跟进的项目,就是受泰勒霍普森公司委托开发一种新的非接触式三坐标测量技术,以对生产面形峰谷(PV)值优于0.1μm的非球面镜片进行检测。

        这个精度对基于原子力分析的接触式测量技术来说并不算夸张,但由于探针需要和工件表面接触,因此并不适用于某些特别脆弱的光学元器件。

        相比之下,采用干涉法和几何光线法的非接触测量显然要友好得多。

        当然,想要达到跟接触式测量相当的精度,难度也要高得多。

        面对已经记不清是这几个月来第几次的失败,秦少锋已经意识到,继续进行重复性试验已经没有太大意义了。

        现在需要的是更换一下思路:

        “是不是考虑重新标定一下设备的公共观测点,这样位置偏移误差或许能缩小一些?”

        他首先提议道。

        面形检测过程中的误差主要来源于三个方面:运动轴误差、探头误差和位置偏移误差。

        前两者对于接触法和非接触法来说并没有太大差别,因此非接触法的精度问题主要就出现在位置偏移误差上面——

        由于没有一个可以直接接触型面,并直接确定测量参考原点的探头,所以非接触设备捕获到的误差数据,本质上相当于面型误差和位置偏移误差的叠加。

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