因此这个数值换算到光刻机上面，就已经是非常优秀的结果了。
身后的另一名工程师直接一哆嗦：
“这……这比我们之前任何一套全折射或折反式系统在这个波段的稳定性都要好得多！”
张汝宁紧抿着嘴唇，没有说话，但紧握的拳头微微松开，肩膀也耷拉下去不少。
不过，还不到可以彻底放松的时候。
电脑屏幕上，ArF波长下的干涉条纹依旧清晰可辨。
虽然比长波长时略粗了一些，但整体形态保持良好没有灾难性的崩溃。
“提取泽尔尼克系数，重点分析离焦项Z4！”
张汝宁语速加快。
泽尔尼克系数是量化光学系统像差的标准数学工具。
其中Z4项，就代表了离焦，这正是由色散差导致的核心像差之一。
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