但在投影光刻物镜中,当数值孔径NA不断增大时,光的矢量特性对成像效果影响也会逐渐增大。
尤其对于3G浸没液和镥铝石榴石这样NA值预计会大于1.70的系统,传统标量像差理论已经不足以完全表征光学系统的成像性能。
必须使用偏振像差理论。
然而,偏振相差甚至没有一种完善的描述形式,穆勒矩阵和琼斯矩阵各自有无法适用的范围。
如果能解决这个问题,无疑是补上了超高精度成像领域的一个缺口。
张汝宁瞬间做出决断:
“先暂停手头的所有实验操作,锁定设备状态!”
“小何,注意保存好所有数据。”
“所有人,跟我上楼!”
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