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第1614章 如果上帝为我关上一扇窗,那就直接把房顶掀了 (13 / 13)

作者:十月廿二 最后更新:2025/8/28 5:44:36
        但在投影光刻物镜中,当数值孔径NA不断增大时,光的矢量特性对成像效果影响也会逐渐增大。

        尤其对于3G浸没液和镥铝石榴石这样NA值预计会大于1.70的系统,传统标量像差理论已经不足以完全表征光学系统的成像性能。

        必须使用偏振像差理论。

        然而,偏振相差甚至没有一种完善的描述形式,穆勒矩阵和琼斯矩阵各自有无法适用的范围。

        如果能解决这个问题,无疑是补上了超高精度成像领域的一个缺口。

        张汝宁瞬间做出决断:

        “先暂停手头的所有实验操作,锁定设备状态!”

        “小何,注意保存好所有数据。”

        “所有人,跟我上楼!”

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