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第1617章 我给你交个底 (5 / 8)

作者:十月廿二 最后更新:2025/8/28 5:44:36
        “不过,从物镜系统这边来看,我们这边的核心模组研发和样件测试进展非常顺利,远超预期……而ArF-1800的其它子系统,比如激光光源、工件台、掩模台、对准系统等,大部分是基于之前ArF-1500的成熟技术……甚至连外形都不用变。”

        一般来说,光刻机的物镜系统是朝着越来越复杂发展。

        因此越先进的型号,体积往往也越大。

        但ArF1800的所有模组都比上一代产品更小,所以省了不少事情。

        “只要物镜系统这个最大的瓶颈被突破,整机的技术风险就降低了七成以上。”

        他看向常浩南,又看了看俞丞东,给出了一个相对乐观的估计:

        “我个人判断,只要SMEE那边不出现重大意外,按照目前的进度全力推进,到明年第二季度,也就是四到六月份之间,基本可以把首批设备交付给华芯国际。”

        常浩南闻言,微微颔首。

        张汝宁的这个判断,与他和SMEE、华芯高层私下沟通的预期差不多吻合。

        “张研究员的判断比较中肯。”他看向俞丞东:“这也意味着,华芯在明年年中形成初步产能,支持你们的‘双轨供应’计划,是有现实基础的。”

        实际这会儿,常浩南也正心里不断吐槽——

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