栾文杰后半句话卡在喉咙里,拿着药瓶,表情有些哭笑不得。
“栾主任,口腔溃疡呢,多半是缺乏维生素。”常浩南这才慢悠悠地开口,语气带着点调侃,“早晚各吃一粒,比您光着急管用。”
栾文杰看着常浩南的样子,又看了看手里的维生素瓶。
连续做了好几个深呼吸,才把那股子被“戏弄”的无奈压下去。
最终还是把那个不起眼的小瓶揣进了西装内袋。
“行,听你的,我试试。”
他无奈地摇摇头。
玩笑开过之后,常浩南随即坐直身体,恢复了惯常的严肃。
“说真的,我确实不太着急。”他直接开口,“ArF-1800光刻机的核心物镜系统,已经完成了最终设计和样机制造……眼下就在我们实验室的超净测试中心里,做最后的参数标定测试。”
栾文杰的眼前再次亮起:“性能很乐观?”
“根据目前的测试结果来看,这套系统完全可以在不依赖多重曝光技术的前提下,使用DUV光源生产出特征尺寸等效于40nm的芯片产品……嗯……也就是宣传口径上的7nm制程。”
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