“那我们就开始?您这边的新理念,或许可以和我们这几个方案交流碰撞一下。”
ArF-1800项目是长光的心血,对标的是ASML的NXT:2000i系列,属于当前DUV体系下的最顶级产品。
他也很想看看,对方能拿出什么新的理念来交流。
然而,常浩南却轻轻摆了摆手,示意那位助手先别动:
“张研究员,先不急着看资料。”
这个态度,让另外二人有些愕然。
“火炬实验室的新理念,是完全……颠覆性的。”常浩南解释道,“现有设计方案本身的参考价值恐怕有限,关键在于思路,包括折反式系统的设计方法,还有一些关键过程和数据。”
张汝宁脸上的笑容微微一滞,眼底掠过一丝难以察觉的讶异和……不服气。
参考价值有限?
他带来的可是对标国际顶级DUV光刻机的核心光学设计方案!
这位常院士的口气,未免太大了些。
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